2025 / 01 / 03

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PEEK-Waferklemme | Effiziente Klemm-Lösung in der Halbleiterfertigung

Im globalen Bereich der Herstellung von integrierten Schaltkreisen sind Kapazitätsengpässe zur Norm geworden, was in den letzten zwei Jahren zu erheblichen Investitionen in China in diesem Bereich geführt hat. Dieser Investitionsboom hat nicht nur die rasante Entwicklung der Halbleitergeräte-, Elektronikkomponenten- und spezialisierten Elektronikmaterialindustrien vorangetrieben, sondern auch die Nachfrage nach Hochleistungsmaterialien wie PEEK erheblich gesteigert.

PEEK (Polyetheretherketon), mit seinen hervorragenden Eigenschaften wie hoher Temperaturbeständigkeit, Verschleißfestigkeit, Dimensionsstabilität, chemischer Korrosionsbeständigkeit und einfacher Verarbeitung, hat in der Halbleiterfertigung unübertroffene Vorteile gezeigt. Besonders im Bereich der Waferklemmung haben sich PEEK-Waferklemmen dank ihrer einzigartigen Eigenschaften als unverzichtbares Werkzeug etabliert. Diese Klemmen gewährleisten die Integrität der Wafer, steigern die Produktionseffizienz erheblich und verbessern die Ausbeute. Daher finden PEEK-Waferklemmen in der Halbleiterindustrie immer mehr Beachtung und breite Anwendung.

Die Kernvorteile von PEEK-Waferklemmen sind wie folgt:

1. Kontaminationsfreie Klemmung
PEEK-Waferklemmen verwenden modifizierte PEEK-Granulate mit äußerst hoher Reinheit, die praktisch keine Spurenelemente enthalten, die Siliziumwafer kontaminieren könnten. Dies gewährleistet absolute Sicherheit während des Klemmprozesses.

2. Antistatische Eigenschaften
PEEK-Waferklemmen verfügen über ausgezeichnete antistatische Eigenschaften, mit einer Oberflächenwiderstandsfähigkeit von $10^5$ bis $10^{10}$Ω. Der Widerstand der Klemmköpfe erreicht sogar $10^7$-$10^8$Ω und verhindert effektiv Schäden durch elektrostatische Entladungen (ESD) an Siliziumwafern, wodurch umfassender Schutz gewährleistet wird.

3. Hohe Temperaturstabilität
PEEK-Waferklemmen können in Umgebungen mit hohen Temperaturen von bis zu 260°C betrieben werden und behalten dabei ihre hohe Festigkeit, Dimensionsstabilität und einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten. Ihre hervorragende Beständigkeit gegen Gleit- und Reibverschleiß stellt sicher, dass keine Kratzer oder Rückstände auf den Oberflächen von Wafern oder Siliziumchips zurückbleiben, was deren Oberflächenreinheit bewahrt.

Besonders hervorzuheben sind die von Junhua Co. entwickelten PEEK5600ESDZ01-Granulate, ein antistatisches Material, das speziell zur Lösung von Problemen mit statischer Elektrizität entwickelt wurde. Mit einem stabilen und kontrollierbaren Oberflächenwiderstand von $10^5$ bis $10^9$Ω zeigt dieses Material außergewöhnliche Leistungen in den Bereichen Antistatik, Verarbeitbarkeit und Optik. Es findet breite Anwendung in der Elektronik-, Halbleiter- und Erdölindustrie und reduziert effektiv Verluste durch statische Elektrizität.

Darüber hinaus werden diese antistatischen Granulate in explosionsgeschützten Produktgehäusen und Strukturkomponenten verwendet, wie z. B. Gehäusen und Strukturteilen von Elektroprodukten in Kohleminen, Öltankern und Ölfeldern. Dies zeigt ihre vielfältigen Anwendungsmöglichkeiten und ihr enormes Marktpotenzial.